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2022-12-13

EUV替代品?日本要靠新一代光刻机逆袭

经过八年的研发和有限销售,佳能正准备为市场量产纳米压印光刻芯片制造设备。 佳能正在东京以北的栃木县宇都宫建厂,估计耗资 500 亿日元(约合 3.66 亿美元)。 该工厂将用于制造 K…